加熱防腐型勻膠機是一種結合加熱功能與防腐設計的實驗室設備,主要用于在強酸、強堿等腐蝕性環境下,將液態或膠體材料均勻涂覆在基片(如硅片、晶體、石英、陶瓷等)上形成薄膜。
一、工作原理
加熱防腐型勻膠機基于離心涂覆原理,通過高速旋轉基片并滴注膠液,利用離心力使膠液均勻涂覆在基片表面。其核心流程包括:
滴膠:將液態或膠體材料滴注在基片中心。
低速旋轉(注膠階段):使膠液初步分散,覆蓋基片表面。
高速旋轉(勻膠階段):通過離心力形成均勻薄膜,膜厚由膠液粘度、旋轉速度及時間決定。
加熱固化:部分機型配備加熱功能,加速溶劑蒸發或膠層固化,提升薄膜質量。
二、特點
加熱功能
支持恒溫加熱,適用于粘稠膠體或需快速固化的工藝。
智能溫控系統確保溫度均勻性,避免局部過熱。
防腐設計
腔體材質:采用聚四氟乙烯或聚丙烯,耐強酸、強堿及有機溶劑腐蝕。
密封結構:優化腔體密封性,防止腐蝕性氣體泄漏,延長設備壽命。
高精度勻膠
轉速穩定性:電機轉速誤差小,保障膜厚均勻性。
操作便捷性
觸控屏控制:支持參數記憶。
安全設計:真空聯動機制、防飛片定心工具等。
模塊化擴展
可選配精密注射泵、加熱上蓋、進氣孔(通保護氣)等附件,提升工藝靈活性。
三、應用領域
半導體制造
光刻膠涂覆:在硅片表面均勻涂布光刻膠,為光刻工藝提供基礎。
薄膜制備:用于鈣鈦礦電池、LED芯片等微電子器件的薄膜沉積。
材料科學研究
功能性薄膜:在陶瓷、石英等基片上沉積導電膜、絕緣膜或光學薄膜。
納米材料改性:研究納米顆粒在基片表面的分散性與薄膜性能。
生物與醫藥
生物培養基制作:均勻分配蛋白質、多肽等生物大分子。
溶膠-凝膠法:制備高分子薄膜或生物傳感器。
新能源領域
太陽能電池:在硅片表面涂布硅漿,提高電池光電轉換效率。
燃料電池:制備電解質膜或催化劑涂層。
化工與防腐
防腐涂層測試:評估防腐涂料在金屬基片上的涂覆效果及耐腐蝕性能。
鹽霧試驗樣品制備:為腐蝕測試提供均勻涂層樣品。